물질이공학부


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표면 물질학

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교수 미즈노 세이기
Surface Science

최근 기능 디바이스의 미세화에 대한 연구와 고체 표면의 나노미터 크기 물질에 대한 연구가 중요시 되고 있는 추세입니다.

본 연구실에서는 표면 구조를 원자 레벨로 밝혀내어 기능성 표면 신물질의 설계·제작을 실시해, 물성 평가로 전개하는 것을 목표로 하고 있습니다. 표면 구조 해석은 저속 전자 회절(LEED), 표면 구조의 변화는 주사 터널 현미경(STM), 표면 전자 상태에 대한 연구는 싱크로트론 광여기 광전자 분광법를 이용하고 있습니다.

  • 표면에 증착한 이종 원자에 의해 형성되는 표면 신물질의 구조 해석과 물성 측정 실리콘 표면에 형성되는 금속 실리사이드나 금속상의 표면합금 등.
  • 표면 신물질의 형성 과정을 원자 레벨로의 STM 관찰.
  • 표면 미소 영역의 구조 해석법의 개발과 원자의 물성·반응성 평가.
  • 실리콘 카바이드 표면에 형성되는 산질화 실리콘막등의 구조나 물성에 대한 연구 오른쪽 그림은 LEED로 구조를 결정한 SiC(0001) 상의 산질화 실리콘막의 구조 모델.
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