デジタルマイクロスコープ

装置名：

デジタルマイクロスコープ

（Keyence社製：VHX-2000）

用途：

電動ステージが付属した光学顕微鏡。広範な視野の自動観察や深さ方向の3Dイメージングも可能。

偏光顕微鏡

装置名：

偏光顕微鏡

（Carl Zeiss社製：Axio Imager）

用途：

偏光機能を有する光学顕微鏡。偏光観察では鏡面の試料で結晶粒の観察が可能。

極低加速電圧走査電子顕微鏡

装置名：

極低加速電圧走査電子顕微鏡

（Carl Zeiss社製：Ultra55）

用途：

反射電子像観察や、極低加速電圧での表面観察が可能なFE-SEM。非導電性試料の観察も可能。EBSD（結晶方位解析）やEDS（元素分析）も付属している。

DualBeam顕微鏡

装置名：

DualBeam顕微鏡

（FEI社製： Varsa 3D ）

用途：

SEM観察とFIBによる切削を同時に行うことができ、任意の位置からのTEMマイクロサンプリングが可能。

分析装置付きDualBeam顕微鏡

装置名：

分析装置付きDualBeam顕微鏡（FEI社製： Scios ）

用途：

SEMとFIBのDuaｌBeam装置であり、種々の二次電子・反射電子検出器に加え、EBSD、EDSも付属。さまざまな観察像のシリアルセクショニングによる3D観察が可能。

走査透過電子顕微鏡

装置名：

走査透過電子顕微鏡

（FEI社製：Tecnai F20）

用途：

電界放射電子銃とエネルギー分散型Ｘ線検出器を搭載した分析電子顕微鏡。３次元トモグラフィー解析やプリセッション電子回折も可能。

原子分解能分析電子顕微鏡

装置名：

原子分解能分析電子顕微鏡

（日本電子製：JEM-ARM200F）

用途：

球面収差補正装置を搭載した走査透過電子顕微鏡。原子分解能でのEDSなども可能。

収差補正透過電子顕微鏡

装置名：

収差補正透過電子顕微鏡

（FEI社製：Titan）

用途：

球面収差補正装置に加えてモノクロメータを搭載した走査透過電子顕微鏡。300kVでの観察やEELS測定も可能。