TEM用イオンミリング装置

装置名：

TEM用イオンミリング装置

（E.A. Fischione Instruments社製：TEM Mill Model1050）

用途：

FIBによって導入された表面ダメージ層などを除去する、TEM試料の仕上げに使用する装置。

電解研磨装置

装置名：

電解研磨装置

（Struers社製：TenuPol-5）

用途：

電解研磨によってTEM観察試料を作製する装置。

トライポッド研磨装置

用途：

SEMやTEMなどの顕微鏡試料の研磨に用いるトライポッドポリッシャー（治具）、回転研磨盤、倒立顕微鏡で構成される。回転研磨盤にはダイヤモンドの砥粒を埋めこんだシートを用いる。最終仕上げにはバフ研磨＋コロイダルシリカによるメカノケミカル研磨を行っている。

ツインジェット電解研磨装置

装置名：

ツインジェット電解研磨装置
（Fischione社製：Model 120）

用途：

金属材料のTEM試料作製のために用いる。電解研磨液を薄片試料の両側からジェットすることで試料に小さな穴を開ける。その周りをTEMで観察する。

ディンプルグラインダー

装置名：

ディンプルグラインダー
（Gatan社製：Dimple Grinder Model 656）

用途：

シリコンやセラミックスなどツインジェット方式でTEM試料を作製できない場合、イオンミリングによる試料作製を行っている。イオンミリングによる試料作製の前処理として薄片試料にダイヤモンド砥粒によるくぼみを付ける装置。

精密イオンポリシングシステム

装置名：

精密イオンポリシングシステム（TV観察システム付）
（日本電子データム社製：AT-12311）
（Gatan社製：PIPS）

用途：

電解研磨方式において作製が困難な試料において、アルゴンイオンによる研磨によりTEM試料を作製する。CCDカメラによりTVモニタで研磨状況を確認することができる。

カーボン蒸着装置

用途：

導電性のない試料の電子顕微鏡観察の際には、試料のチャージアップを防ぐためにカーボンなどの導電性膜を付けて観察を行う。本装置はカーボンロープを加熱することによって試料表面にカーボンを蒸着する。